← Вернуться

Орехов Д. Л.

Разработка технологии гетероструктурных солнечных элементов на кристаллическом кремнии с использованием промышленных реакторов плазмохимического осаждения специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>

О произведении

Автор:
Заглавие:
Разработка технологии гетероструктурных солнечных элементов на кристаллическом кремнии с использованием промышленных реакторов плазмохимического осаждения специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>
Место издания:
Санкт-Петербург
Год издания:
Количество страниц:
19 с.
ББК:
К1
УДК:
621.38
Библиотека:
Российская национальная библиотека (РНБ)

Похожие